下载一种深紫外LED外延结构及其制备方法和深紫外LED的技术资料

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本发明提供一种深紫外LED外延结构及其制备方法和深紫外LED。该深紫外LED外延结构,包括衬底以及自衬底向上依次层叠设置的缓冲层、N型AlGaN层、多量子阱结构、电子阻挡层、P型AlGaN层和P型GaN层;P型AlGaN层包括第一、第二和第...
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