下载一种制造光电二极管的方法以及相应光电二极管的技术资料

文档序号:21836698

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本发明涉及一种制造光电二极管的方法,包括下列步骤:提供p型衬底并对其第一侧进行注入以形成n型注入区;通过注入在n型注入区的边缘处形成p型注入区;在n型注入区和p型注入区上形成转移栅并且在转移栅的侧面形成侧墙;从p型衬底的与第一侧相对的第二侧...
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