下载一种薄膜晶体管、其制备方法、显示基板及显示装置的技术资料

文档序号:21836661

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本发明涉及显示领域,特别涉及一种薄膜晶体管、其制备方法、显示基板及显示装置。薄膜晶体管,包括设置于栅极与半导体层之间的栅绝缘层,栅绝缘层包括金属氧化物层和位于金属氧化物层远离栅极一侧、经自组装形成的改性层。本发明通过栅绝缘层材料和结构的改变...
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