下载一种新型四颗二极管集成芯片的制造工艺的技术资料

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一种新型四颗二极管集成芯片的制造工艺;步骤为:在硅片衬底上、下表面均形成第一二氧化硅薄膜层;刻蚀并去除上、下表面第一二氧化硅薄膜层的隔离带区域;对隔离带区域进行硼掺杂形成第一P+区,在上下方向贯通形成隔离墙,在硅片衬底中隔离出四间隔块;形成...
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