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本申请提供一种氮化镓器件制作方法，首先在衬底上形成沟道层，并在沟道层上形成势垒层且基于势垒层形成欧姆接触区域。然后，在势垒层上的欧姆接触区域蒸镀形成多层欧姆金属层。最后，在多层欧姆金属层上形成第一粘接层及至少一层阻挡层，其中，该至少一层阻挡...
该专利属于厦门市三安集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门市三安集成电路有限公司授权不得商用。

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