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本发明提供了一种太阳能电池片的表面钝化处理方法，包括：S1)在太阳能电池片的表面沉积第一SiNx薄膜，得到沉积第一SiNx薄膜的太阳能电池片；S2)将所述沉积第一SiNx薄膜的太阳能电池用NH3等离子体进行表面处理，得到处理后的太阳能电池片...
该专利属于浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司授权不得商用。

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