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本揭示提供化学气相沉积装置维护保养方法，其特征在于，包括步骤S10：通过气体吹扫，筛选出符合测试要求的扩散器；步骤S20：设定检测规格的预设值，通过微粒测量仪对所述扩散器进行微粒检测；步骤S30：将所述扩散器装配到化学气相沉积装置，进行试验...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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