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一种柔性电容阵列及制备方法技术
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文档序号:21836259
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本发明公开了一种柔性电容阵列及制备方法,其方法包括:以聚酰亚胺薄膜作为基底,将聚酰胺酸旋涂至基底上,置于加热台加热使其亚胺化,利用银铵法在已亚胺化的衬底上生长银层作为电容阵列的上下极板,利用蓝膜光刻工艺形成所需蓝膜阵列用来支撑电容的上下极板...
该专利属于华东师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过华东师范大学授权不得商用。
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