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本公开涉及MEMS陀螺仪与系统。MEMS陀螺仪可包括支撑结构以及在相互垂直的驱动方向和感测方向上从支撑结构弹性悬挂的移动质量。驱动结构耦合至移动质量，用于控制移动质量在驱动方向上以驱动频率进行的驱动移动。与驱动结构不同的驱动频率调谐电极面向...
该专利属于意法半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过意法半导体股份有限公司授权不得商用。

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