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本实用新型公开了激光干涉仪上检测硅整流罩面形精度的专用夹具，包括夹具本体；所述夹具本体为两端开口的管状结构，一侧端口处向轴中心方向延伸并形成限位环，待固定的整流罩面卡固于所述夹具本体的内部，并由所述限位环限制。本实用新型中的激光干涉仪上检测...
该专利属于云南北方驰宏光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过云南北方驰宏光电有限公司授权不得商用。

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