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公开了功率半导体器件和用于制造功率半导体器件的方法。该方法包括：在半导体衬底中形成沟槽；在沟槽中形成栅极绝缘膜和栅电极；将第一导电类型杂质注入至半导体衬底中，以形成第一导电类型基体区；将第二导电类型杂质注入至半导体衬底的表面上，以形成第二导...
该专利属于美格纳半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过美格纳半导体有限公司授权不得商用。

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