下载一种三角梁柔性约束变刚度微纳测头的技术资料

文档序号:21796231

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本发明公开一种三角梁柔性约束变刚度微纳测头,包括动平台,动平台呈圆台状,动平台的一侧安装有测量组件,测量组件通过测量支撑结构与动平台连接,测量支撑结构的中心与测量组件的圆心同轴,测量支撑结构上固定安装有若干反射片,动平台的另一侧安装有若干与...
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