【技术实现步骤摘要】
一种三角梁柔性约束变刚度微纳测头
本专利技术涉及一种精密测量仪器，特别涉及一种三角梁柔性约束变刚度微纳测头。
技术介绍
微系统技术的快速发展，各种微型精密元器件产品需求日益增大。测头是三坐标测量机的重要组成部分，三坐标测量机的总体测量精度在很大程度上取决于测头的测量性能。当测头接触脆弱工件表面时，为避免测头在测量过程中划伤工件表面，要求测头支撑机构必须具有较低的刚度，而在测头主轴运动过程中，为保证测头系统的稳定性以避免误触发，需要增大谐振频率和提高动态反应，又要求测头支撑机构具有较高的刚度。目前传统固定约束测头，一旦安装完成，刚度无法改变，其主要存在以下问题：1、固定刚度测头无法调节刚度，不易实现刚度的各向同性；2、低刚度测头在接近和远离工件时产生的惯性力易带来误触发；3、低刚度测头工艺性较差，加工难度大，精度低；4、低刚度测头在吸附和吸引过程中会对敏感弹性梁潜在的破坏；5、高刚度测头在测量时易对被测工件表面造成损坏。
技术实现思路
为了解决上述现有技术中的不足，本专利技术的目的在于提供一种三角梁柔性约束变刚度微纳测头，该三角梁柔性约束变刚度微纳测头可通过调节压电堆栈...
【技术保护点】
1.一种三角梁柔性约束变刚度微纳测头，其特征在于，包括动平台(1)，所述动平台(1)呈圆台状，所述动平台(1)的一侧安装有测量组件(2)，所述测量组件(2)通过测量支撑结构(3)与所述动平台(1)连接，所述测量支撑结构(3)的中心与所述测量组件(2)的圆心同轴，所述测量支撑结构(3)上固定安装有若干反射片(4)，所述动平台(1)的另一侧安装有若干与所述反射片(4)相对应的干涉仪(5)，所述动平台(1)在于所述反射片(4)相应的位置处分别设有贯穿孔(101)；所述测量支撑结构(3)的一端与所述测量组件(2)连接，另一端通过柔性调节件与压电堆栈器(7)连接，所述柔性调节件在所述...
【技术特征摘要】
1.一种三角梁柔性约束变刚度微纳测头，其特征在于，包括动平台(1)，所述动平台(1)呈圆台状，所述动平台(1)的一侧安装有测量组件(2)，所述测量组件(2)通过测量支撑结构(3)与所述动平台(1)连接，所述测量支撑结构(3)的中心与所述测量组件(2)的圆心同轴，所述测量支撑结构(3)上固定安装有若干反射片(4)，所述动平台(1)的另一侧安装有若干与所述反射片(4)相对应的干涉仪(5)，所述动平台(1)在于所述反射片(4)相应的位置处分别设有贯穿孔(101)；所述测量支撑结构(3)的一端与所述测量组件(2)连接，另一端通过柔性调节件与压电堆栈器(7)连接，所述柔性调节件在所述动平台(1)的下方呈正三角形分布；所述测量组件(2)的顶部与所述动平台(1)的底面之间具有间隙。2.根据权利要求1所述的三角梁柔性约束变刚度微纳测头，其特征在于，所述测量组件(2)包括测球(201)、测杆(202)以及中心体(203)，所述测球(201)通过所述测杆(202)与所述中心体(203)连接；所述中心体(203)通过所述测量支撑结构(3)与所述动平台(1)连接，并且所述中心体(203)的顶部与所述动平台(1)的底面之间具有所述间隙。3.根据权利要求2所述的三角梁柔性约束变刚度微纳测头，其特征在于，所述间隙的大小为0.5～0.7mm。4.根据权利要求3所述的三角梁柔性约束变刚度微纳测头，其特征在于，所述测量支撑结构(3)包括若干悬架(301)以及与所述中心体(203)连接的连接片(302)，所述悬架(301)的一端与所述连接片(302)一体成型，另一端与所述柔性调节件固定连接。5.根据权利要求4所述的三角梁柔性约束变刚度微纳测头，其特征在于，所述悬架(301)的数量设有三个，三个所述悬架(301)之间的夹角为12...
【专利技术属性】
技术研发人员：李保坤，程新华，吴耀东，韩迎鸽，马天兵，陈清华，
申请(专利权)人：安徽理工大学，
类型：发明
国别省市：安徽,34
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