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本发明涉及一种真空炉负压气氛控制装置，它包括气流管路和控制阀，气流管路由进气管路、真空炉体、抽气管路、流量调节管路、抽真空机组和外排气体处理装置组成，控制阀包括充气截止阀、大流量截止阀、手动流量调节阀、电动流量比例阀和小流量截止阀；进气管路...
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