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用于薄基板搬运的静电载体制造技术
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下载用于薄基板搬运的静电载体的技术资料
文档序号:21775142
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本文所提供的实施方式大体涉及静电卡盘(ESC)。静电卡盘可包括减少数目的应力起始点,诸如穿过静电卡盘的孔,此举可改良静电卡盘的机械完整性。设置在静电卡盘中的电极可经由导电导线连接至电触点及电源,这些导电导线可被耦接成或形成为沿着静电卡盘的外...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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