下载用于片材连续沉积涂层的夹具及沉积装置的技术资料

文档序号:21773910

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种用于片材连续沉积涂层的夹具及沉积装置,涉及涂层沉积辅助设备技术领域。该夹具包括传动单元、第一样品台和若干个支座,第一样品台用于装载待沉积的片材,若干个支座位于第一样品台的下方用于支撑第一样品台,传动单元在外界驱动下能够带...
该专利属于深圳先进技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳先进技术研究院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。