用于片材连续沉积涂层的夹具及沉积装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于片材连续沉积涂层的夹具及沉积装置，涉及涂层沉积辅助设备技术领域。该夹具包括传动单元、第一样品台和若干个支座，第一样品台用于装载待沉积的片材，若干个支座位于第一样品台的下方用于支撑第一样品台，传动单元在外界驱动下能够带动第一样品台连续进给；该夹具可连续沉积片材面积大于沉积装置有效沉积范围的片材，极大得减少了沉积过程的一些中间步骤，大大提高了沉积效率、缩短了生产周期，降低了生产成本，同时减弱了频繁更换片材时对热丝造成的不利影响，延长了热丝的使用寿命，从而进一步降低了生产成本。本实用新型专利技术还提供一种沉积装置，包括炉体，上述用于片材连续沉积涂层的夹具位于炉体内并对片材进行装载。

Fixtures and Deposition Devices for Continuous Deposition Coating of Sheets

【技术实现步骤摘要】
用于片材连续沉积涂层的夹具及沉积装置
本技术涉及涂层沉积辅助设备
，尤其是涉及一种用于片材连续沉积涂层的夹具及沉积装置。
技术介绍
在热丝气相沉积法制备片材涂层的工艺中，受限于现有沉积装置的结构，每次沉积操作时往往只能放入单片片材于沉积装置内，且单片片材的面积小于或者等于沉积装置的有效沉积面积，即一炉一片逐片沉积。这种工艺操作存在以下问题：(1)每沉积完一片片材，都需要打开设备重新装载下一片，每次装载都要重新抽真空，而抽真空的时间占整个生产时间的五分之一左右；(2)通常在更换片材的过程中，热丝由高温冷却至室温极易断裂，需要重新更换热丝，且热丝(钽丝)的价格比较贵，经常更换热丝不利于降低生产成本；(3)对于待沉积面积大于沉积装置的有效沉积面积的片材，不便处理。由此可知，一炉一片逐片沉积的方式沉积效率低，产量低，工人劳动强度大，生产成本高。有鉴于此，特提出本技术能够解决上述问题中的至少一个。
技术实现思路
本技术的第一目的在于提供一种用于片材连续沉积涂层的夹具，在不改变沉积装置的基本结构条件下，利用该夹具可连续沉积片材面积大于沉积装置有效沉积范围的片材，极大的减少了一些中间过程，有利于提高本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于片材连续沉积涂层的夹具，其特征在于，包括传动单元、第一样品台和若干个支座；所述第一样品台用于装载待沉积的片材，若干个所述支座位于所述第一样品台的下方用于支撑所述第一样品台；所述传动单元能够在外界驱动下带动所述第一样品台连续进给。

【技术特征摘要】
1.一种用于片材连续沉积涂层的夹具，其特征在于，包括传动单元、第一样品台和若干个支座；所述第一样品台用于装载待沉积的片材，若干个所述支座位于所述第一样品台的下方用于支撑所述第一样品台；所述传动单元能够在外界驱动下带动所述第一样品台连续进给。2.根据权利要求1所述的用于片材连续沉积涂层的夹具，其特征在于，所述第一样品台包括传动部；所述传动单元包括第一传动件和第二传动件，所述第一传动件能够在外界驱动下转动，并带动所述第二传动件转动，所述第二传动件用于驱动所述传动部运动。3.根据权利要求2所述的用于片材连续沉积涂层的夹具，其特征在于，所述第二传动件为齿轮，所述传动部为与所述第二传动件相配合的齿条。4.根据权利要求2所述的用于片材连续沉积涂层的夹具，其特征在于，所述第一传动件为齿轮、皮带轮或链轮。5.根据权利要求1-4任意一项所述的用于片材连续沉积涂层的夹具，其特征在于，所述第一样品台上设置有若干个垫块，所述垫块用于调节片材...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐永炳，陈波，王陶，孟醒，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，
类型：新型
国别省市：广东,44