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本实用新型提供了一种用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具及沉积装置，涉及涂层沉积辅助设备技术领域。该夹具包括传动单元和夹持单元，夹持单元用于装载掺杂源，传动单元与夹持单元连接，且传动单元能够带动夹持单元沿竖向运动，该夹具可调整掺杂源与热丝之间的距...
该专利属于深圳先进技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过深圳先进技术研究院授权不得商用。

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