用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具及沉积装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具及沉积装置，涉及涂层沉积辅助设备技术领域。该夹具包括传动单元和夹持单元，夹持单元用于装载掺杂源，传动单元与夹持单元连接，且传动单元能够带动夹持单元沿竖向运动，该夹具可调整掺杂源与热丝之间的距离，实现待掺杂物质掺杂量的灵活调节，从而实现待掺杂物质的梯度掺杂，改善了现有沉积过程中掺杂源与热丝之间的距离无法调节，从而导致待掺杂物掺杂量无法灵活调节的缺陷；该夹具结构简单，操作方便，且不会改变沉积装置原有的结构和部件，为在片材上沉积掺杂涂层提供了工业依据。本实用新型专利技术还提供一种沉积装置，包括炉体和上述夹具，夹具位于炉体内并对掺杂源进行装载。

Fixtures and Deposition Devices for Depositing Doped Coatings on Sheets

【技术实现步骤摘要】
用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具及沉积装置
本技术涉及涂层沉积辅助设备
，尤其是涉及一种用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具及沉积装置。
技术介绍
随着化学气相沉积金刚石技术的发展，越来越多的企业、科研院所对该项技术进行了系统的研究，其中一个研究的重要方面就是对金刚石进行掺杂，从而改变金刚石的力学、热学、电学、光学等方面的特性，使其具有更广阔的用途。金属掺杂能够有效改善涂层的内应力，改善膜基结合力。在进行金属掺杂时往往需要专门的夹具来固定金属掺杂源，金属掺杂源的位置(所处温度场)对于掺杂量有重要影响。研究表明，当基体与热丝的距离一定时，金属掺杂源离热丝越近，沉积得到的金刚石中的金属掺杂量越多，而金属掺杂源离热丝越远，沉积得到的金刚石中的金属掺杂量越少。现有的金属掺杂装置是直接将金属掺杂源固定于热丝下方一定距离处，在沉积过程中无法实现掺杂源与热丝距离的调节，故金属掺杂量不可调节，也不能实现金属的梯度掺杂。有鉴于此，特提出本技术能够解决上述问题中的至少一个。
技术实现思路
本技术的第一目的在于提供一种用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具，在不改变沉积装置的基本结构的基础上，利用该夹具可调整掺杂源与热丝之本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具，其特征在于，包括传动单元(1)和夹持单元(2)；所述夹持单元(2)用于装载掺杂源(3)，所述传动单元(1)与所述夹持单元(2)连接，且所述传动单元(1)能够带动所述夹持单元(2)沿竖向运动。

【技术特征摘要】
1.一种用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具，其特征在于，包括传动单元(1)和夹持单元(2)；所述夹持单元(2)用于装载掺杂源(3)，所述传动单元(1)与所述夹持单元(2)连接，且所述传动单元(1)能够带动所述夹持单元(2)沿竖向运动。2.根据权利要求1所述的用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具，其特征在于，所述夹持单元(2)包括夹持部(21)和夹头(22)，所述掺杂源(3)通过所述夹头(22)装载在所述夹持部(21)上。3.根据权利要求2所述的用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具，其特征在于，所述传动单元(1)包括传动件(11)和转轴(12)，所述传动件(11)套设于所述转轴(12)上并与所述转轴(12)同轴运动，所述转轴(12)上设有外螺纹；所述夹持部(21)上设置与所述转轴(12)螺纹连接的螺孔；所述夹持部(21)连接有用于限制其绕所述转轴(12)转动的限位件。4.根据权利要求2所述的用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具，其特征在于，所述传动单元(1)包括传动件(11)和固定轴，所述固定轴上设有外螺纹，所述传动件(11)设有与所述固定轴螺纹连接的螺孔；所述夹持部(21)与所述传动件(11)枢接，且能随所述传动件(11)同步升降；所述夹持部(21)连接有限制其周向转动的限位件。5.根据权利要求2所述的用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具，其特征在于，所述传动单元(1)包括传动件(11)、转轴(12)和固定轴，所述固定轴上设有外螺纹...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐永炳，孟醒，陈波，王陶，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，
类型：新型
国别省市：广东,44