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一种化学气相沉积设备的载具，包括多个气体管道以及多个出气孔，每个所述气体管道通过每个对应的所述出气孔排出气体，其特征在于，每个气体管道设置于载具内部，其中每个气体管道具有至少一个弯曲处，且每个弯曲处为圆滑曲面。本实用新型通过在载具内的气体管...
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