下载一种复合栅双极型晶体管器件的技术资料

文档序号:21752629

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本申请公开了一种复合栅双极型晶体管器件,包括半导体衬底、空穴积累层、P型基区、沟槽区、栅氧化层、复合栅电极、虚拟沟槽栅、N+发射极区、P+深阱区、绝缘介质层、发射极电极、N型场终止区、P型集电极区和集电极,空穴积累层、P型基区形成于半导体衬...
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