下载锆前体、铪前体、钛前体及使用其沉积含第4族的膜的技术资料

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披露了形成含第4族过渡金属的膜的组合物。这些形成含第4族过渡金属的膜的组合物包含具有式L2‑M‑(R)C5R3‑[(ER2)2‑NR]‑的第4族过渡金属前体,其中M为以η...
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