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本文呈现用于在入射角AOI、方位角或两者的宽范围内执行半导体结构的同时光谱测量的方法及系统。在不同传感器区域上方以高处理量同时测量包含入射角、方位角或两者的两个或两个以上子范围的光谱。根据AOI、方位角或两者的每一子范围的波长来跨一或多个检...
该专利属于科磊股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科磊股份有限公司授权不得商用。

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