下载一种分布反馈激光器阵列及其制造方法的技术资料

文档序号:21718309

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本发明实施例涉及一种分布反馈激光器阵列及其制造方法,所述阵列包括衬底及在衬底上依次生长的缓冲层、光栅层、选择生长区域外延层,在所述光栅层的不同区域具有周期不同的均匀光栅,选择生长区域的位置与不同周期的光栅的位置相对应;所述选择生长区域外延层...
该专利属于深圳市特发信息股份有限公司;中国科学院福建物质结构研究所;福建中科光芯光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市特发信息股份有限公司;中国科学院福建物质结构研究所;福建中科光芯光电科技有限公司授权不得商用。

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