下载一种碳化硅单晶生长用固气界面可控的坩埚的技术资料

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本发明公开了一种单晶生长用固气界面可控的坩埚,其包括坩埚本体,贯穿坩埚本体底部的连接杆,所述连接杆连接原料盒,所述原料盒随所述连接杆在坩埚本体内升降;所述坩埚本体的外表面设置保温层;所述原料盒是内置于坩埚的开口原料盒;所述连接杆的升降速度为...
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