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本发明涉及一种用于生长单晶锭的提拉控制装置，能够通过实时改变晶种转数来控制单晶锭的偏心度，以及涉及应用于该装置的提拉控制方法。根据本发明，通过提供实时变化的目标晶种输出转数(T_f输出)以便通过输入目标输入晶种输入转数(T_f输入)来匹配对...
该专利属于爱思开矽得荣株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过爱思开矽得荣株式会社授权不得商用。

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