下载晶环装置的技术资料

文档序号:21696843

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本实用新型公开了一种晶环装置,包括支架、驱动所述支架沿X轴方向运动的第一驱动机构和驱动所述支架沿Y轴方向运动的第二驱动机构,还包括三个的用于固定晶环的固定机构,三个的所述固定机构间隔设置于所述支架上,所述固定机构包括旋转件、用于固定晶环的固...
该专利属于先进光电器材(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过先进光电器材(深圳)有限公司授权不得商用。

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