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本发明涉及一种抽真空装置（１），用于将一个腔室抽真空至高真空范围内的压力，该抽真空装置包括一个抽吸侧的真空泵（２）和一个大气压力侧的真空泵（３）；抽吸侧的真空泵（２）设计为具有一个转子（１１）和一个定子（１０）的机械动力的真空泵；定子（１０...
该专利属于奥林肯莱博尔德真空技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过奥林肯莱博尔德真空技术有限责任公司授权不得商用。

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