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本实用新型公开了一种真空电子束镀膜装置，包括电子束炉、前置真空室、加热真空室、后置真空室和冷却真空室；前置真空室连通在电子束炉的进口端，加热真空室连通在前置真空室与电子束炉之间；后置真空室连通在电子束炉的出口端，冷却真空室连通在后置真空室与...
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