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校准数据制作装置、校准数据制作方法和流量控制装置制造方法及图纸
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文档序号:21685363
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为了提供不需要重新组装流体控制阀就能够以无级方式制作校准数据的校准数据制作装置、校准数据制作方法和流量控制装置,校准数据制作装置制作位置传感器的校准数据,位置传感器设于控制流体的流体控制阀,输出与相对于阀座在接触分离方向上移动的阀体的位置对...
该专利属于株式会社堀场STEC所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社堀场STEC授权不得商用。
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