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本发明提供一种用于连续提供前驱体源装置，包括：一与反应腔连接的第一源瓶，第一源瓶至少一个；与第一源瓶连接的第二源瓶，第二源瓶至少一个；第一源瓶中盛装有前驱体源，第二源瓶中盛装的前驱体源用于提供给第一源瓶，以使第一源瓶连续地往反应腔内输送前驱...
该专利属于深圳市原速光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市原速光电科技有限公司授权不得商用。

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