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一种多周期结构的二硼化钛基涂层及其制备方法和应用技术
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文档序号:21678788
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本发明属于表面防护技术领域,公开了一种多周期结构的TiB2基涂层及其制备方法。所述二硼化钛基涂层是以TiB2靶和金属靶为原料,采用磁控溅射镀膜,在基体上溅射沉积形成;二硼化钛基涂层为TiB2层与单质金属层相互叠加的多周期结构,相邻的TiB2...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。
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