下载内衬组件、反应腔室及半导体加工设备的技术资料

文档序号:21666801

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本公开提供了一种内衬组件,包括:套设的至少两层内衬,所述至少两层内衬接地,每层内衬沿其周向开设有多个缝隙,对于所述至少两层内衬中的任意相邻两层内衬,其中一层内衬的所述多个缝隙在一平面的投影与其中另一层内衬的所述多个缝隙在所述平面的投影不重叠...
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