下载一种用于大功率半导体器件封装的热压烧结机的技术资料

文档序号:21609724

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本发明提供了一种用于大功率半导体器件封装的热压烧结机,包括:机台、人机界面、上加热板、下加热板、热电偶、压力传感器、丝杆、螺母副、减速机、伺服电机;其中,下加热板安装于机台台面,上加热板安装于四根导杆所组成的框架底端的压力传感器下面;由人机...
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