下载半导体组件的制作方法的技术资料

文档序号:21609678

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本发明公开了一种半导体组件的制作方法,包括提供一基板,在基板上形成一牺牲层,在牺牲层上设置多个第一芯片,然后形成一第一介电层,且第一介电层包围所述多个第一芯片,在该第一介电层中形成多个沟槽,以及在沟槽中形成一第二介电层。其中第一介电层的上表...
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