下载减振系统以及具备该减振系统的光学装置的技术资料

文档序号:21603924

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本发明涉及用于对被减振体的振动进行减振的减振系统以及具备该减振系统的光学装置。减振系统具备:(i)压电元件,分别具有能够收缩的压电元件,以将被减振体的侧面与基体之间连结的方式,从被减振体的侧面向基体延伸;(ii)驱动电源,为了使压电元件收缩...
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