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本实用新型涉及一种双阻隔无油超净真空系统装置。本实用新型在机械泵、分子泵的气体回路上设置第一阻油器，在分子泵、被抽容器之间设置第二阻油器。本实用新型解决了现有技术存在的时间长、真空度降低、污染严重，影响高纯材料的合成与熔炼，难以达到要求。本...
该专利属于扬州大学所有，仅供学习研究参考，未经过扬州大学授权不得商用。

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