双阻隔无油超净真空系统装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种双阻隔无油超净真空系统装置。本实用新型专利技术在机械泵、分子泵的气体回路上设置第一阻油器，在分子泵、被抽容器之间设置第二阻油器。本实用新型专利技术解决了现有技术存在的时间长、真空度降低、污染严重，影响高纯材料的合成与熔炼，难以达到要求。本实用新型专利技术中第一阻油器将机械泵返流的油蒸汽进行阻隔、收集，防止油蒸汽对真空系统管道、分子泵叶片的污染，第二阻油器将对已经进入分子泵泵腔的油分子进行再阻隔、收集，防止油蒸汽对被抽容器的污染。且结构简单，效果明显，操作方便。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
双阻隔无油超净真空系统装置，有机械泵、分子泵、被抽容器，其特征在于在机械泵、分子泵的气体回路上设置第一阻油器，在分子泵、被抽容器之间设置第二阻油器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈荣发，赵毅红，
申请(专利权)人：扬州大学，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]