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一种驱动式压电隔膜泵制造技术
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下载一种驱动式压电隔膜泵的技术资料
文档序号:21600432
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本发明公开了一种驱动式压电隔膜泵,包括泵体;设置于所述泵体内且依次连接的压电驱动单元、振动位移放大装置、弹性隔膜;设置于所述泵体上的入口单向阀、出口单向阀,连接所述入口单向阀的入口,连接所述出口单向阀的出口;所述弹性隔膜密封于泵腔上,所述入...
该专利属于燕山大学所有,仅供学习研究参考,未经过燕山大学授权不得商用。
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