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本发明给出了一种低压化学气相沉积真空管式炉的补气装置，包括补气管，补气管端部开有补气口；还包括冷却管和堵头，冷却管设有供冷却介质通过的内孔，冷却管在补气管的出气口处节距盘绕呈多线圈状的导流弹簧段，处于导流弹簧段的相邻冷却管线圈之间具有间隙，...
该专利属于普乐新能源（蚌埠）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过普乐新能源（蚌埠）有限公司授权不得商用。

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