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本发明公开了一种用于光通信和磁储存镀膜的旋转靶材制备及其方法。所述方法包括:中频感应炉及喷雾快速冷凝装置进行喷雾制粉;对基体管进行除锈、除油和喷砂预处理;在预处理后的基体管上喷涂打底层;对真空喷涂腔体抽真空;真空喷涂稀土‑过渡金属粉末,制备...该专利属于苏州康科斯柔性电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州康科斯柔性电子有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种用于光通信和磁储存镀膜的旋转靶材制备及其方法。所述方法包括:中频感应炉及喷雾快速冷凝装置进行喷雾制粉;对基体管进行除锈、除油和喷砂预处理;在预处理后的基体管上喷涂打底层;对真空喷涂腔体抽真空;真空喷涂稀土‑过渡金属粉末,制备...