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微流控装置及其驱动方法制造方法及图纸
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文档序号:21589098
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本发明公开了一种微流控装置及其驱动方法,包括:衬底基板和位于衬底基板一侧的电极层;电极层包括第一电极、第二电极和第三电极;多个通道,通道至少包括一个第一电极、两个第二电极、一个第三电极和一个壁垒;壁垒为T字型结构,且壁垒包括沿第一方向延伸的...
该专利属于上海天马微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海天马微电子有限公司授权不得商用。
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