【技术实现步骤摘要】
微流控装置及其驱动方法
本专利技术涉及微流控领域，更具体地，涉及一种微流控装置及其驱动方法。
技术介绍
微流控(Micro-fluidic)技术是一种以在微米尺度空间对流体进行操控为主要特征的技术。该技术已经与化学、生物学、工程学和物理学等诸学科形成交叉，展示出了广泛的应用前景。在微流控技术应用于生物检测或化学检测时，为了同时进行多个化学反应从而进行快速检测，微流控装置中会设置多个液滴通道，液滴通道的数量越多，微流控装置中用于设置液滴通道所需的空间越大，不利于微流控装置轻便化设计的趋势。同时，现有的微流控装置通过通道分离液滴的方式存在着分离效率低和分离精度差等问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种微流控装置及其驱动方法，可有效减少通道数量，且可快速、精准的对液滴进行分裂。第一方面，本专利技术提供一种微流控装置，包括：衬底基板和位于衬底基板一侧的电极层；电极层包括第一电极、第二电极和第三电极；多个通道，通道至少包括一个第一电极、两个第二电极、一个第三电极和一个壁垒；同一通道中，两个第二电极位于第一电极的同一侧，且两个第二电极沿第一方向排列；壁垒与电极层位于...
【技术保护点】
1.一种微流控装置，其特征在于，包括：衬底基板和位于所述衬底基板一侧的电极层；所述电极层包括第一电极、第二电极和第三电极；多个通道，所述通道至少包括一个所述第一电极、两个所述第二电极、一个所述第三电极和一个壁垒；同一通道中，两个所述第二电极位于所述第一电极的同一侧，且两个所述第二电极沿第一方向排列；所述壁垒与所述电极层位于所述衬底基板的同一侧，所述壁垒为T字型结构，且所述壁垒包括沿所述第一方向延伸的第一分部和沿第二方向延伸的第二分部；所述壁垒包括位于所述第一电极和所述第二电极之间的第一壁垒，所述第一壁垒的所述第一分部位于所述第一电极和所述第二电极之间，所述第一壁垒的所述第二...
【技术特征摘要】
1.一种微流控装置，其特征在于，包括：衬底基板和位于所述衬底基板一侧的电极层；所述电极层包括第一电极、第二电极和第三电极；多个通道，所述通道至少包括一个所述第一电极、两个所述第二电极、一个所述第三电极和一个壁垒；同一通道中，两个所述第二电极位于所述第一电极的同一侧，且两个所述第二电极沿第一方向排列；所述壁垒与所述电极层位于所述衬底基板的同一侧，所述壁垒为T字型结构，且所述壁垒包括沿所述第一方向延伸的第一分部和沿第二方向延伸的第二分部；所述壁垒包括位于所述第一电极和所述第二电极之间的第一壁垒，所述第一壁垒的所述第一分部位于所述第一电极和所述第二电极之间，所述第一壁垒的所述第二分部位于两个所述第二电极之间，其中，所述第一方向和所述第二方向相交；所述第三电极沿所述第一方向延伸，所述第三电极在所述衬底基板所在平面的垂直投影位于所述第一壁垒的所述第一分部在所述衬底基板所在平面的垂直投影内。2.根据权利要求1所述的微流控装置，其特征在于，所述壁垒在所述衬底基板所在平面的垂直投影图案为轴对称图形，所述第三电极在所述衬底基板所在平面的垂直投影图案也为轴对称图形，且两者的对称轴相同；两个所述第二电极的形状和大小均相同，两个所述第二电极与所述第三电极之间的间距相同，且两个所述第二电极与所述第二分部之间的间距相同。3.根据权利要求1所述的微流控装置，其特征在于，在垂直于所述衬底基板所在平面的方向上，所述壁垒的高度大于所述第一电极的高度，且大于所述第二电极的高度。4.根据权利要求1所述的微流控装置，其特征在于，所述第三电极位于所述第一分部远离所述衬底基板的一侧。5.根据权利要求1所述的微流控装置，其特征在于，所述第一分部包括通孔，所述第三电极位于所述通孔内。6.根据权利要求5所述的微流控装置，其特征在于，所述第一分部包括围绕所述通孔的侧壁，所述侧壁包括沿所述第二方向相对设置的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁和第二侧壁均沿所述第一方向延伸，且所述第二侧壁和所述第二分部相连接；所述第一侧壁上设有一个第一缺口，所述第二侧壁上设有两个第二缺口，两个所述第二缺口沿所述第一方向相对设置于所述第二分部的两侧。7.根据权利要求1所述的微流控装置，其特征在于，所述电极层...
【专利技术属性】
技术研发人员：周一安，席克瑞，林柏全，秦锋，李小和，刘金娥，
申请(专利权)人：上海天马微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。