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一种带压力互锁的微量薄膜泵，主要包括：上、下泵体，其特征在于：一作为动力源的致动器置于一泵膜的上方并带动泵膜作上下往复运动，该泵膜封固于上泵体的开口周缘，且上泵体内至少设有一工作腔室及一与流体出口相通的环状腔，一下泵体内设有一进液腔室及一压...
该专利属于王勤所有，仅供学习研究参考，未经过王勤授权不得商用。

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