带压力互锁的微量薄膜泵制造技术

一种带压力互锁的微量薄膜泵，主要包括：上、下泵体，其特征在于：一作为动力源的致动器置于一泵膜的上方并带动泵膜作上下往复运动，该泵膜封固于上泵体的开口周缘，且上泵体内至少设有一工作腔室及一与流体出口相通的环状腔，一下泵体内设有一进液腔室及一压力互锁腔室，该进液腔室与一液体入口相通，一阀膜置于上下泵体之间，并在阀膜的适当位置处设有与工作腔室相通的孔。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王勤，
申请(专利权)人：王勤，
类型：实用新型
国别省市：