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一种彩色共焦三维形貌光学测量机构制造技术
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文档序号:21580256
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本实用新型涉及一种彩色共焦三维形貌光学测量机构,采用的是复色光源,通过轴向色散来获得波长颜色和位移的关系,可以避免轴向扫描带来的耗时问题,提高了测量速度;通过小孔滤除非焦平面的杂散信号,获取位于焦平面的锐利信号,具有很高的轴向分辨率。本实用...
该专利属于华侨大学所有,仅供学习研究参考,未经过华侨大学授权不得商用。
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