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一种彩色共焦三维形貌光学测量机构制造技术

技术编号:21580256 阅读:36 留言:0更新日期:2019-07-10 18:01
本实用新型专利技术涉及一种彩色共焦三维形貌光学测量机构,采用的是复色光源,通过轴向色散来获得波长颜色和位移的关系,可以避免轴向扫描带来的耗时问题,提高了测量速度;通过小孔滤除非焦平面的杂散信号,获取位于焦平面的锐利信号,具有很高的轴向分辨率。本实用新型专利技术的实施,实现不同波长的单色光反映被测物表面的高度信息。

A Colour Confocal Optical Measuring Mechanism for Three-Dimensional Topography

【技术实现步骤摘要】
一种彩色共焦三维形貌光学测量机构
本技术涉及光学测量领域,更具体地说,涉及一种彩色共焦三维形貌光学测量机构。
技术介绍
随着科学技术与生产制造业的迅速发展,以表面三维形貌测量为代表的精密计量技术受到越来越多的学者的关注,越来越多的领域对物体三维形貌测量产生很大需求,诸如机械汽车等制造业、医疗影像测量、空间遥感等。在医学领域,口腔科使用三维测量仪器对牙齿进行测量,整形美容科利用对人体皮肤外观的三维成像进行方案设计和手术实施,心脏外科利用探测监视仪器实时观察心脏动态;在工业制造领域,对生成的产品进行表面粗糙度检测提高产品质量,通过三维成像进行逆向工程直接从成品分析,推导出产品的设计原理,利用三维形貌测量对印刷电路板的质量进行。因此,怎样获取物体的三维形貌信息来为各个领域服务越来越被重视。随着图像成型技术、投影技术、计算机技术、三维形貌测量技术的快速发展,传统的接触式三坐标测量机不能再满足所有的物体三维形貌的重建工作。因此科研工作者投入的大量的时间和精力来研发各种各样的光学三维形貌测量技术,以满足实际的工业测量和检测等要求。数字条纹投影技术,即利用数字投影仪来投射光栅条纹的技术,是常用的光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种彩色共焦三维形貌光学测量机构,其特征在于,包括依次排列的复色光源、光源针孔、准直透镜、色散管镜、分光镜、物镜、载物台,复色光源发出的光经光源针孔、准直透镜、色散管镜、分光镜、物镜到达被测物表面,被测物表面反射回来的光经过物镜至分光镜;载物台为二维运动载物台,带动被测物进行二维运动;还包括电感测微仪,用于监测载物台的轴向位置。

【技术特征摘要】
1.一种彩色共焦三维形貌光学测量机构,其特征在于,包括依次排列的复色光源、光源针孔、准直透镜、色散管镜、分光镜、物镜、载物台,复色光源发出的光经光源针孔、准直透镜、色散管镜、分光镜、物镜到达被测物表面,被测物表面反射回来的光经过物镜至分光镜;载物台为二维运动载物台...

【专利技术属性】
技术研发人员:余卿崔长彩程方张昆张一周瑞兰訾梦超邹景武叶瑞芳王寅
申请(专利权)人:华侨大学
类型:新型
国别省市:福建,35

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