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用于导管传感器的遮光罩制造技术
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下载用于导管传感器的遮光罩的技术资料
文档序号:21579350
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可能具有降低的光灵敏度的压力传感器及相关联的结构。示例可以提供减少压力传感器的膜上的部件处的光的结构。...
该专利属于硅微结构股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过硅微结构股份有限公司授权不得商用。
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