下载发光二极管的外延片及其制作方法的技术资料

文档序号:21575006

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本发明公开了一种发光二极管的外延片及其制作方法,属于光电子制造技术领域。该外延片包括衬底和依次形成在衬底上的AlN缓冲层、u型GaN层、n型GaN层、多量子阱层和p型层,其中,多量子阱层包括多层InGaN层和多层AlxGa1‑xN层交替层叠...
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