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一种GaAs基LED管芯制作方法,包括如下步骤:a)将生长有外延层的砷化镓基LED晶片进行背面减薄;b)将减薄后的LED晶片的背面的GaAs衬底在常温条件下利用电子束蒸发台在真空环境下使用Ni材料及Au材料蒸镀制成N面电极;c)将晶片放置到...
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